工業(yè)型設(shè)備
研發(fā)型設(shè)備
MINI 科研型桌式ALD
產(chǎn)品概況
MINI是一款尺寸超小、操作簡(jiǎn)單、功能強(qiáng)大的桌面式ALD系統(tǒng)，它可以在4寸晶圓和微納米粉體上實(shí)現(xiàn)均勻可控的原子層沉積，是先進(jìn)能源材料、新型納米材料研究與應(yīng)用的最佳研發(fā)工具。
技術(shù)參數(shù)
外形尺寸(L x W x H)：550 x 470 x 470 (mm)
重量：70kg
電源：220VAC 50HZ 額定功率：1.5kW/7A，峰值功率：2.2kW/10A
樣品尺寸：最大支持6英寸晶圓，兼容碎片；樣品高度≤3mm
極限真空：≤50 mTorr
工藝溫度：室溫至360℃
前驅(qū)體溫度：最高溫度180℃
應(yīng)用領(lǐng)域
FAQ
MINI有什么亮點(diǎn)和特色？
集成化程度高，僅有烤箱大小，小巧緊湊。工藝豐富，可以制備HfO2,ZnO,Al203，TiO2等
MINI具體可以應(yīng)用于哪些領(lǐng)域？
半導(dǎo)體領(lǐng)域：High-K電解質(zhì)、超級(jí)電容器、二極管等；納米催化劑領(lǐng)域：光催化、電化學(xué)催化；鈣鈦礦太陽(yáng)能電池
