應(yīng)用領(lǐng)域
APPLICATIONS
新能源
韞茂工業(yè)化粉末ALD、CVD實(shí)現(xiàn)規(guī)?;慨a(chǎn),其創(chuàng)新工藝已應(yīng)用于鋰電池等新能源行業(yè)。通過模塊化系統(tǒng)設(shè)計(jì)與工藝創(chuàng)新,公司設(shè)備具備多材料體系兼容特性,可針對不同應(yīng)用場景定制薄膜沉積工藝方案,確保膜層結(jié)構(gòu)的高均勻性與穩(wěn)定性。該技術(shù)有效解決了新能源器件界面鈍化難題,在動(dòng)力電池領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)能量密度15-20%的提升,同時(shí)將循環(huán)壽命延長至行業(yè)平均水平的1.5倍,顯著增強(qiáng)終端產(chǎn)品的性能一致性與長期可靠性。
相關(guān)產(chǎn)品
KG 工業(yè)級(jí)粉末ALD
能夠在微米級(jí)粉末表面包覆原子層級(jí)到納米層級(jí)范圍內(nèi)的厚度,具有超高靈敏度、均一性和重復(fù)性;全自動(dòng)原位厚度測試系統(tǒng),實(shí)時(shí)觀測生長速率及厚度功能,系統(tǒng)具有較高整體性和穩(wěn)定性,并具有較高的自動(dòng)化程度,操作方便、擴(kuò)展靈活。
SCA 工業(yè)級(jí)粉末CVD
進(jìn)行硅沉積/碳包覆,可實(shí)現(xiàn)高沉積均勻性與高包覆完整性,具備優(yōu)異的批次穩(wěn)定性與重復(fù)性
MINI 科研型桌式ALD
MINI是一款尺寸超小、操作簡單、功能強(qiáng)大的桌面式ALD系統(tǒng),它可以在4寸晶圓和微納米粉體上實(shí)現(xiàn)均勻可控的原子層沉積,是先進(jìn)能源材料、新型納米材料研究與應(yīng)用的最佳研發(fā)工具。
GM 研發(fā)型粉末ALD
該系統(tǒng)主要由工藝腔、運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)和上下料平臺(tái)組成。其中,工藝模塊用于為基片進(jìn)行工藝提供環(huán)境。