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半導體

韞茂碳化硅外延CVD設備、金剛石MPCVD設備、PECVD，分別服務于第三代、第四代以及硅基集成電路半導體市場，依托自主研發(fā)的20余項核心專利技術，公司在關鍵工藝模塊創(chuàng)新、反應腔體流場設計、原位監(jiān)測系統(tǒng)等領域形成技術壁壘，在高頻、功率器件、MEMS、內存芯片領域展現(xiàn)出色的性能和穩(wěn)定性，推動了新一代半導體材料和器件的研發(fā)和應用。隨著全球半導體產業(yè)向寬禁帶材料轉型，韞茂持續(xù)深化與頭部客戶的戰(zhàn)略合作，通過定制化設備解決方案加速新一代半導體材料及器件的產業(yè)化進程。