MPCVD 金剛石CVD
產(chǎn)品概況
可實現(xiàn)高質(zhì)量金剛石單晶、多晶薄膜生長，用于核心的第四代寬禁帶半導(dǎo)體器件制造。
技術(shù)參數(shù)
實現(xiàn)全自動、自動化生產(chǎn)
創(chuàng)新的設(shè)計帶來產(chǎn)品良率大幅提升
高均勻性、偏壓設(shè)計，提高金剛石薄膜質(zhì)量
工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)安全互鎖、報警、EMO
應(yīng)用領(lǐng)域
