SCA 工業(yè)級粉末CVD
產(chǎn)品概況
進(jìn)行硅沉積/碳包覆，可實(shí)現(xiàn)高沉積均勻性與高包覆完整性，具備優(yōu)異的批次穩(wěn)定性與重復(fù)性
技術(shù)參數(shù)
樣品最大裝載量：10-50KG 多孔碳（可根據(jù)需求定制）
樣品反應(yīng)溫度：RT-800℃
反應(yīng)氣：最多5路反應(yīng)氣體（硅烷、乙炔、氮?dú)獾龋?/p>
前驅(qū)體加熱最高溫度：RT-200℃
沉積時間：5-8小時
應(yīng)用領(lǐng)域
FAQ
SCA的產(chǎn)能有多大？
針對不同的產(chǎn)能需求，我們有不同型號的設(shè)備，包括SCA20,SCA50,SCA100,SCA500,最大硅碳負(fù)極材料的產(chǎn)出量分別為20kg，50kg，100kg，200kg和500kg。
SCA的溫度均勻性如何？
采用多溫區(qū)控制設(shè)計(jì)，可優(yōu)化溫度均勻性，溫區(qū)控溫誤差小于1度。
硅碳負(fù)極生產(chǎn)的均勻性如何？
優(yōu)化分布板設(shè)計(jì)，可有效減小氣泡尺寸，增大氣固反應(yīng)效率，確保硅碳沉積均勻性
SCA的工藝溫度范圍為多少？
設(shè)備采用310S以上的耐高溫合金鋼材，最大工藝溫度可達(dá) 1000度，可涵蓋大部分工藝溫度窗口。
SCA的使用安全性如何？
設(shè)備設(shè)計(jì)基于半導(dǎo)體級設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)以及防爆設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)，設(shè)備自動化程度高，可最大限度保證設(shè)備安全運(yùn)行。
