KG 工業(yè)級(jí)粉末ALD
產(chǎn)品概況
能夠在微米級(jí)粉末表面包覆原子層級(jí)到納米層級(jí)范圍內(nèi)的厚度,具有超高靈敏度、均一性和重復(fù)性;全自動(dòng)原位厚度測(cè)試系統(tǒng),實(shí)時(shí)觀測(cè)生長(zhǎng)速率及厚度功能,系統(tǒng)具有較高整體性和穩(wěn)定性,并具有較高的自動(dòng)化程度,操作方便、擴(kuò)展靈活。
技術(shù)參數(shù)
樣品最大產(chǎn)載量: 500kg
均勻性、批次穩(wěn)定性1σ<3%
可配置3-5路前驅(qū)體源,鍍膜種類多樣化
多閥組設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)最佳前驅(qū)體輸送控制,保證可重復(fù)性和易于維護(hù)
立式提料分散,配合特殊進(jìn)氣方案,保證粉體與前驅(qū)體充分接觸,有效提高包覆均勻性
專利設(shè)計(jì)的高溫真空旋轉(zhuǎn)密封裝置,實(shí)現(xiàn)粉體分散工況下的真空密封功能,確保工藝穩(wěn)定性