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先進(jìn)光顯

韞茂自主研發(fā)的批次式 ALD及PEALD，可應(yīng)用于 Mini/Micro LED、先進(jìn)光學(xué)、AR/VR等前沿領(lǐng)域。

半導(dǎo)體

韞茂碳化硅外延CVD設(shè)備、金剛石MPCVD設(shè)備、PECVD，分別服務(wù)于第三代、第四代以及硅基集成電路半導(dǎo)體市場(chǎng)。

新能源

韞茂工業(yè)化粉末ALD、CVD實(shí)現(xiàn)規(guī)?；慨a(chǎn)，應(yīng)用于鋰電池、固態(tài)電池、鈣鈦礦等新能源行業(yè)。

新型器件應(yīng)用

韞茂超高真空工藝設(shè)備可在新一代超導(dǎo)芯片、超導(dǎo)材料，新型器件制造中提供精密的導(dǎo)電和絕緣層沉積。