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產(chǎn)品問答
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QBT-J的進(jìn)樣腔，離子束刻蝕腔，蒸發(fā)腔，氧化腔的極限真空分別是多少？
分別為≤5E-9Torr，≤9E-10Torr，≤9E-10Torr，≤1*10E-9Torr，
