FAQ
FREQUENTLY ASKED QUESTIONS
產品問答
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SCA的溫度均勻性如何?
采用多溫區(qū)控制設計,可優(yōu)化溫度均勻性,溫區(qū)控溫誤差小于1度。
硅碳負極生產的均勻性如何?
優(yōu)化分布板設計,可有效減小氣泡尺寸,增大氣固反應效率,確保硅碳沉積均勻性
SCA的工藝溫度范圍為多少?
設備采用310S以上的耐高溫合金鋼材,最大工藝溫度可達 1000度,可涵蓋大部分工藝溫度窗口。
SCA的使用安全性如何?
設備設計基于半導體級設計標準以及防爆設計標準,設備自動化程度高,可最大限度保證設備安全運行。
進樣腔和蒸發(fā)腔的極限真空分別是多少?
Loadlock極限真空<9E-9Torr,可加熱RT-900oC;蒸發(fā)腔:極限真空<3E-9Torr